標(biāo)準(zhǔn)超精密定位工作臺直動壓電滑臺

標(biāo)準(zhǔn)超精密定位工作臺直動壓電滑臺
分為共振頻率高、強(qiáng)調(diào)高速響應(yīng)的「直接驅(qū)動機(jī)構(gòu)」和較長行程的「位移放大機(jī)構(gòu)」。分為共振頻率高、強(qiáng)調(diào)高速響應(yīng)的「直接驅(qū)動機(jī)構(gòu)」和較長行程的「位移放大機(jī)構(gòu)」。分為共振頻率高、強(qiáng)調(diào)高速響應(yīng)的「直接驅(qū)動機(jī)構(gòu)」和較長行程的「位移放大機(jī)構(gòu)」。分為共振頻率高、強(qiáng)調(diào)高速響應(yīng)的「直接驅(qū)動機(jī)構(gòu)」和較長行程的「位移放大機(jī)構(gòu)」。分為共振頻率高、強(qiáng)調(diào)高速響應(yīng)的「直接驅(qū)動機(jī)構(gòu)」和較長行程的「位移放大機(jī)構(gòu)」。

• 壓電元件直接移動工作臺的機(jī)構(gòu)。

• 行程短，有優(yōu)異的解析度和反應(yīng)能力。

• 剛性高，即使在重負(fù)載下也能穩(wěn)定定位。

• 壓電元件直接移動工作臺的機(jī)構(gòu)。

• 行程短，有優(yōu)異的解析度和反應(yīng)能力。

• 剛性高，即使在重負(fù)載下也能穩(wěn)定定位。

• 壓電元件直接移動工作臺的機(jī)構(gòu)。

• 行程短，有優(yōu)異的解析度和反應(yīng)能力。

• 剛性高，即使在重負(fù)載下也能穩(wěn)定定位。

• 壓電元件直接移動工作臺的機(jī)構(gòu)。

• 行程短，有優(yōu)異的解析度和反應(yīng)能力。

• 剛性高，即使在重負(fù)載下也能穩(wěn)定定位。

• 壓電元件進(jìn)行驅(qū)動，具有設(shè)計(jì)行程放大機(jī)構(gòu)提升壓電伸長率。

• 根據(jù)放大倍率，可獲得比直接驅(qū)動機(jī)構(gòu)數(shù)倍至10倍以上的行程。

• 內(nèi)藏位移感測器的回授控制，可以保持優(yōu)秀的反復(fù)定位精度。

• 壓電元件進(jìn)行驅(qū)動，具有設(shè)計(jì)行程放大機(jī)構(gòu)提升壓電伸長率。

• 根據(jù)放大倍率，可獲得比直接驅(qū)動機(jī)構(gòu)數(shù)倍至10倍以上的行程。

• 內(nèi)藏位移感測器的回授控制，可以保持優(yōu)秀的反復(fù)定位精度。

• 壓電元件進(jìn)行驅(qū)動，具有設(shè)計(jì)行程放大機(jī)構(gòu)提升壓電伸長率。

• 根據(jù)放大倍率，可獲得比直接驅(qū)動機(jī)構(gòu)數(shù)倍至10倍以上的行程。

• 內(nèi)藏位移感測器的回授控制，可以保持優(yōu)秀的反復(fù)定位精度。